实用新型专利：一种铟封封接装置
发布时间：2020-02-12专利名称：一种铟封封接装置
申请类型：实用新型专利申请
申请号CN201920633591.4
申请日：20190506
公开号：CN209561334U
授权公告日：20191029
申请（专利权）人：北京真空电子科技有限公司
发明人：李润霞;姚铮;刘文涛
主分类号：H01J9/26
分类号：H01J9/26
地址：北京市朝阳区酒仙桥路13号
国省代码：北京(11)
代理机构：北京爱普纳杰专利代理事务所（特殊普通合伙）
代理人：何自刚
摘要
本实用新型涉及一种封接设备，尤其是一种铟封封接装置。包括封接装置本体，所述封接装置本体包括外置容纳装置、内置封接器以及压力反馈机构，所述内置封接器包括分别与压力反馈机构配合连接的上封接组件和下封接组件。本实用新型通过合理的选择或布置加热元件和压力检测元件构建温度反馈控制机构和压力反馈控制系统进而提供良好的加热均温性以及精确的压力控制精度，以提高铟封质量。本实用新型的封接系统集主体设备与控制系统于一体，操作方便，设备美观；本实用新型的封接系统有别于目前市场上用于封接的设备的造价高昂、结构复杂的特点；本实用新型的设备成本较低，控制精度较高，产品封接质量能够满足工作和实验需求。
权利要求
1.一种铟封封接装置，包括封接装置本体，其特征在于，所述封接装置本体包括外置容纳装置、内置封接器以及压力反馈机构，所述内置封接器包括分别与压力反馈机构配合连接的上封接组件和下封接组件。 2.根据权利要求1所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述压力反馈机构包括压力传感器(10)、位移传感器(15)、压力传动装置，所述位移传感器(15)和所述压力传感器(10)设置于上封接单元。 3.根据权利要求2所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述压力传动装置包括伺服电机(1)、减速器(2)、传动丝杠(3)，所述伺服电机(1)通过减速器(2)与传动丝杠(3)连接。 4.根据权利要求1所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述下封接单元内置有加热装置。 5.根据权利要求4所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述加热装置包括传导式加热平台(7)和加热丝(8)，所述加热平台(7)内置有均匀布置的加热丝(8)。 6.根据权利要求1所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述外置容纳装置本体为真空封接室(5)。 7.根据权利要求6所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述真空封接室(5)上设置有真空测量接口、温度测量接口、真空管道接口，所述真空封接室(5)一侧设置有通过氟橡胶密封连接的密封门(16)，所述密封门(16)上设置有用于观察的视窗(17)。 8.根据权利要求1所述的一种铟封封接装置，其特征在于，还包括真空控制机构，所述真空控制机构包括设置有充气阀(22)的充气管路(25)和设置有主抽泵、机械泵(24)、高真空插板阀(19)、隔断阀(20)的抽气管路(26)以及设置在真空封接室(5)上的真空规(18)。 9.根据权利要求8所述的一种铟封封接装置，其特征在于，所述主抽泵主体为分子泵(23)。 10.根据权利要求1所述的一种铟封封接装置，其特征在于，还包括温度反馈控制机构，所述温度反馈控制机构包括热电偶(9)、温控仪(13)和调压变压器(14)，所述热电偶(9)设置在加热装置内；所述温度反馈控制机构的热电偶(9)与温控仪(13)电连接，所述温控仪(13)与调压变压器(14)电连接。
原文地址：http://www.bjnajie.com/a/anlijieshao/zhuanlianli/5675.html
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